解像度向上技術(RET )は、ドット特性を操作するために用いられる画像処理技術の一種で、レーザープリンターやインクジェットプリンターメーカーで広く利用されています。密接に関連するRET技術は、特に90ナノメートル技術に関連して、 VLSI フォトリソグラフィー製造技術にも用いられています。
解像度とは、画像の細部の鮮明さ、曲線の滑らかさ、そして画像の忠実な再現性を指します。いずれの場合も、RETは印刷プロセスの影響を軽減するために、画像の事前補正を行います。
VLSI 技術における RET の主要な問題には、波の基本的な特性である振幅、位相、方向があります。
参照
外部参照
- Schellenberg, Franklin M. (2004年5月28日). Smith, Bruce W (編). 「解像度向上技術:過去、現在、そして未来への拡張」. Proc. SPIE 5377, Optical Microlithography XVII . Optical Microlithography XVII. 5377 : 1. Bibcode :2004SPIE.5377....1S. doi :10.1117/12.548923. S2CID 110913847. 2016年10月19日閲覧.
- 「Calibre Computational Lithography」Mentor Graphics . 2016年5月31日時点のオリジナルよりアーカイブ。 2016年10月19日閲覧。
- 「Synopsys RTL-to-Siliconソリューション」。2008年11月21日時点のオリジナルよりアーカイブ。