エアシャワー（室内）

靴底洗浄用の青い粘着マットを備えたクリーンルームエアシャワー。

エアシャワーは、クリーンルームやその他の管理された環境への入口として組み込まれた、粒子汚染を低減するための特殊な密閉式前室です。^{[ 1 ]} エアシャワーは、高圧のHEPAまたはULPAフィルターでろ過された空気を利用して、人や物体の表面から埃、繊維状の糸くず、その他の汚染物質を除去します。クリーンな環境に入る前に表面を強制的に「洗浄」することで、空気中に持ち込まれる粒子の数を削減します。^{[ 1 ] [ 2 ]}

クリーンルーム設計に適切に組み込むことで、エアシャワーはISO規格に適合した移動通路となり、クリーンルームの清浄度を確保します。エアシャワーは通常、作業着エリアとクリーンルームの間に設置されます。作業者は適切な作業着と個人用保護具（PPE）を着用した後、シャワーに入り、加圧空気ノズルによって作業着に残留する粒子を除去します。プログラムサイクルが完了すると、作業者は2つ目のドアからクリーンルームへ退出します。エアシャワー（またはエアトンネル）は、異なるISO規格のクリーンルーム間にも設置されます。^{[ 2 ]}

デザインと機能性

エアシャワーは、一般的にクリーンルーム対応の鋼鉄またはプラスチック材料で作られており、電動送風機、フィルター、高圧ジェットノズルを備えており、高圧ジェットノズルはチャンバーの壁と天井に組み込まれています。^{[ 3 ]}ジェットノズルからは、3,000 フィート/分 (15 m/s) ～ 7,000 フィート/分 (36 m/s) の速度の空気が 30 ～ 45 秒間連続的に噴出し、遊離粒子状物質を効果的に除去します。^{[ 4 ]}筐体内の作業員は、腕を上げ、体を回して空気流に均一にさらします。この手順は通常、プロトコルで指定されています。ジェットからの気流によってせん断力と羽ばたき力が生じ、平面と衣服の折り目の両方から汚染物質が持ち上げられて除去されます。^{[ 4 ]}エアシャワー内のHEPA フィルターは、直径 0.3 μmを超える粒子の 99.97% を除去できます。^{[ 5 ]}

エアシャワー内の空気は閉ループシステムによって循環され、継続的に再循環されます。空気は電動フィルター／ブロワーモジュールを通過して大型プレナムに送り込まれ、ジェットノズルからシャワー室に送り込まれます。粒子を多く含んだ汚染された空気は、床の通気口からシャワー室から排出され、ろ過ユニットに戻ります。このプロセスにより、人や補給カートなどの機器から粒子を除去するために、除染された空気のみが使用されるようになります。

エアシャワーには、大量の高速空気が電荷を発生するため、静電気を軽減するために空気イオン化装置が備えられていることがよくあります。実験装置、電子計測機器、そして多くのハイテク製品は静電放電によって損傷を受ける可能性があるため、クリーンルームに入る前に材料表面を電気的に中性にするためにイオン化装置は不可欠です。^{[ 2 ]}

安全性

インターロック機構は、エアシャワーの一般的な機能であり、両方の出口が同時に開かれるのを防ぎます。両方の出口が同時に開かれると、厳密に管理された環境に外気が流入してしまいます。そのため、除染サイクルが完了するまで、利用者は屋内に留まらなければなりません。このため、ほとんどの安全管理機関は、緊急停止などの安全機能を義務付けています。あるいは、エアシャワーはドアのない長いトンネルで構成される場合もあります。作業員はゆっくりとトンネルを通り抜け、管理区域に到達します。^{[ 2 ]} 空調設備は、圧力差を利用して内部と外部の環境の間に流体境界を作り、隔離された雰囲気を作り出します。

外部リンク

• NASAで使用されている空気シャワー

参考文献

1. Cosgrove, Chris K. (2003-01-01). 「空気シャワーは汚染削減計画にどのように適合するのか？」 Advantage Business Media. 2016年8月23日時点のオリジナルよりアーカイブ。 2016年8月22日閲覧。
2. Welker, Roger W.; Nagarajan, R.; Newberg, Carl E. (2005-10-04).ハイテク製造における汚染とESD制御. ホーボーケン、ニュージャージー州: John Wiley & Sons. ISBN 978-0-471-41452-0。
3. Loughran, Timothy M.; Shea, Michael J. (2015-02-16).汚染制御プロセスにおけるエアシャワーの有効性. 2016年12月20日時点のオリジナルよりアーカイブ。 2016年11月15日閲覧。
4. Ottney, Thomas C (1996-09-01). 「エアシャワーによる糸くずの欠陥の低減」.金属仕上げ. 97 (5): 402– 406. doi : 10.1016/S0026-0576(00)80440-7 .
5. ASME AG-1a-2004: ASME AG-1-2003「原子力空気およびガス処理に関する規格」の補遺。アメリカ機械学会。2004年。