デビッド・アトウッド（物理学者）
デビッド・T・アトウッド
母校ニューヨーク大学
知られているX線光学、コヒーレントX線、 EUVリソグラフィー
科学者としてのキャリア
機関カリフォルニア大学バークレー校ローレンス・バークレー国立研究所

デイビッド・アトウッドはアメリカの物理学者であり、カリフォルニア大学バークレー校の名誉教授です。同大学ではシンクロトロン放射[ 1 ]と自由電子レーザーの分野で研究を行い、X線顕微鏡[ 2 ]技術を研究および産業用（EUVリソグラフィー[ 3 ]）に開発しました。彼はアン・サクディナワットと共著で、X線と極端紫外線に関する参考書を執筆しています。[ 4 ]

教育とキャリア

デビッド・アトウッドは1972年にニューヨーク大学で応用物理学の博士号を取得しました。[ 5 ]博士号取得後、ローレンス・リバモア国立研究所に加わり、レーザー核融合の研究を行いました。[ 6 ]ローレンス・バークレー国立研究所では、先端光源部門 の初代科学ディレクター（1985～1988年）とX線光学センターの創設ディレクターを務め、 EUVリソグラフィーの初期の先駆者の一人でした。彼はカリフォルニア大学バークレー校工学部応用科学技術（AS&T）プログラムの共同設立者であり、20名以上の大学院生を指導した。[ 7 ]その中には、レジーナ・スーフリ、アン・サクディナワット、ヤンウェイ・リウ、チャン・チャン、ブルック・ルー・メスラー、アンドリュー・アキラ、クリスティン・ロスフィヨルド、ラウル・ベギリステイン、マックス・ウェイ、カン・グエン、ブリタニー・マクリントン、ウェイルン・チャオ、ライアン・ミヤカワ、クリストファー・アンダーソンなどが含まれる。彼はアメリカ物理学会、Optica、および日本応用物理学会のフェローである。

参考文献

  1. ^ Attwood, D.; Halbach , K.; Kim, K.-J. (1985). 「チューナブルコヒーレントX線」. Science . 228 (4705): 1265– 1272. doi : 10.1126/science.228.4705.1265 . PMID  17799101. S2CID  27975164 .
  2. ^ Chao, Weilun; Harteneck, Bruce D.; Liddle, J. Alexander; Anderson, Erik H.; Attwood, David T. (2005). 「15 nmを超える空間分解能を持つ軟X線顕微鏡」. Nature . 435 ( 7046): 1210– 1213. doi : 10.1038/nature03719 . PMID 15988520. S2CID 4314046 .  
  3. ^ Gwyn, CW (1998). 「極端紫外線リソグラフィー」. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures . 16 (6): 3142. doi : 10.1116/1.590453 .
  4. ^ Attwood, David (2017). X線と極端紫外線. Cambridge University Press. ISBN 9781107062894。
  5. ^デビッド・アトウッド – カリフォルニア大学バークレー校電気工学・コンピュータサイエンス学部
  6. ^ Attwood, DT (1978年5月19日). 「レーザー核融合計画のための診断：マイクロメートルおよびピコ秒スケールのプラズマ物理学」 . OSTI 6683562 – www.osti.govより。 
  7. ^デビッド・アトウッド – カリフォルニア大学バークレー校
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