MKSインストゥルメンツ

株式会社MKS
会社の種類公共
ISINUS55306N1046
業界半導体
設立1961 (1961年
本部
サービスエリア
全世界
収益36億ドル(2024年)
従業員数
10,000(2024年)
Webサイトwww.mks.com

MKS Inc.は、半導体チップ、プリント基板先端パッケージング(半導体)、および特殊産業用途の製造に使用される機器、サブシステム、システム、プロセス制御技術、および特殊化学製品を提供するテクノロジー企業です。また、装飾的および機能的な表面仕上げに使用される化学薬品および装置も提供しています。本社はマサチューセッツ州アンドーバーにあり、世界中にオフィスと施設を有しています。

歴史

MKSは1961年にエンジニアのケン・ハリソンジョン・A・ディロンによって設立されました。両共同創業者は、同社の最初の製品である半導体ウェーハ製造チャンバー内のガス圧力を測定するバラトロン静電容量マノメータの開発に貢献しました。

1990年代は、より高性能なマイクロプロセッサ集積回路の開発、そして世界中の消費者と企業によるパーソナルコンピューティングの普及により、半導体業界が大きく成長した時代でした。MKSは、真空計測・制御、ガス・蒸気供給、プロセス監視ソリューションの進歩により、この需要を捉えました。同社は、国際的な顧客基盤へのサービス向上と、ヨーロッパおよびアジアの新興市場への参入を目指し、世界各地に新たな営業・サービス拠点を設立することで、グローバル展開を拡大しました。

1999年、同社は新規株式公開(IPO)を実施し、ナスダック証券取引所 に上場しました。

2000 年に、MKS は、半導体、薄膜コーティング、および先端材料処理業界で使用される質量分析計および光分光計ベースのプロセス監視製品の設計および製造会社であるカリフォルニアに拠点を置く Spectra International, LLC を現金 970 万ドルで買収しました。

2001年、MKSはスパッタリング装置などのサプライヤーであるApplied Science and Technology Inc.(ASTeX)を3億ドルの株式で買収した。[ 1 ]

2002年、MKSはエマソン・エレクトリック・カンパニーのENI部門(固体無線周波数(RF)および直流(DC)プラズマ電源、マッチングネットワーク、計測機器のサプライヤー)を2億8800万ドルの株式で買収した。[ 2 ]

Umetricsは、多変量データ分析と実験計画ソフトウェアを提供するスウェーデンの非上場企業で、2008年にMKSに買収されました。 [ 3 ]

2010年、MKSはアゼンタからグランビル・フィリップスを8,700万ドルで買収しました。グランビル・フィリップスは、薄膜、半導体、一般産業市場向けの真空計測・制御機器のプロバイダーです。[ 4 ]

2012年、韓国のRFプラズマシステムサプライヤーであるPlasmartがMKSに買収されました。[ 5 ]

2016年、MKSはニューポート・コーポレーションを全額現金によるレバレッジド・バイアウト(LBO)で買収しました。買収額は約9億8,000万ドルで、MKSの市場規模は2倍以上に拡大しました。この買収には、ニューポートの子会社であるフォトニクスおよび光学製品プロバイダーのスペクトラ・フィジックスとオフィール・オプトロニクスも含まれていました。[ 6 ]

2019年、エレクトロ・サイエンティフィック・インダストリーズ(ESI)は、2018年末に発表された取引で、MKSに10億ドルで買収されました。[ 7 ] ESIは、PCB製造に使用されるレーザーマイクロマシニング、レーザーベースの高度な製造システム、およびフォトニックベースの精密機器のプロバイダーです。[ 8 ]

2021年現在、同社の売上高の60%は半導体製品によるものである。[ 9 ]

2022年、MKSはドイツのテクノロジー企業であるアトテックを現金とMKS普通株式を合わせて約44億ドルで買収しました。アトテックは特殊化学品および表面処理技術のサプライヤーです。[ 10 ]

特許

2024年現在、MKSは750件の有効な特許を保有しています。[ 11 ] MKSの主要特許の例を以下に示します。

  1. Baratron ®静電容量マノメータ (米国特許番号 3,509,775)発行日: 1970 年 4 月 28 日、この特許は、Baratron 静電容量マノメータの基本技術をカバーしています。
  2. ガス流量制御システム(米国特許第5,711,105号)発行日:1998年1月27日。この特許は、真空プロセスにおけるガス流量を正確に制御するシステムについて説明しています。半導体製造において、プロセスの一貫性と歩留まりを維持するためには、正確なガス流量制御が不可欠です。
  3. レーザー ビーム伝送システム (米国特許番号 6,208,417) 発行日: 2001 年 3 月 27 日。この特許は、材料処理、医療機器、科学研究の用途におけるレーザー ビームの正確な伝送に関する技術をカバーしています。
  4. 表面仕上げ技術 (米国特許番号 9,073,652) 発行日: 2015 年 7 月 7 日、この特許は、電子機器および自動車用途の表面仕上げに使用される高度なめっき化学薬品および装置に関するものです。
  5. プラズマ源および方法(米国特許第10,505,348号)発行日:2019年12月17日、この特許は、半導体製造におけるエッチングや堆積などのプロセスにおけるプラズマ生成および制御に関する革新を扱っています。

持続可能性

2023年12月、MKSは、科学的根拠に基づいた目標イニシアチブ(SBTi)によって確立された基準に従って、スコープ1とスコープ2の合計排出量を2022年の基準から2030年までに42%削減することを約束したと発表しました [ 12 ] 。

インデックス

参考文献

  1. ^ 「MKSがASTeXを3億ドルで買収」 EETimes 2000年10月2日。
  2. ^ 「MKS InstrumentがEmersonのENI部門を2億8800万ドルの株式で買収」 EETimes 2002年2月1日。
  3. ^ 「MKS InstrumentsがUmetricsを買収」 Semiconductor Digest 2005年12月16日
  4. ^ 「MKS InstrumentsがGranville-Phillipsを買収」 Yahoo Finance 2014年3月19日。
  5. ^ 「MKS Instruments、韓国のRF企業を買収」(プレスリリース)MKS、2012年8月30日。
  6. ^ 「MKS Instruments、Newport Corporationの買収契約を発表」(プレスリリース)。MKS。2016年2月23日 – GlobeNewswire経由。
  7. ^ロゴウェイ、マイク(2018年10月30日)「オレゴン州最古のテック企業ESIが10億ドルで売却」オレゴニアン紙2018年11月1日時点のオリジナルよりアーカイブ2026年1月19日閲覧
  8. ^ 「MKS Instruments、ESIを10億ドルで買収へ」 Silicon Semiconductor、2018年11月20日。
  9. ^ Krause, Reinhardt (2021年3月17日). 「MKS株価、チップギアメーカーがコヒレント買収から撤退後、反発」 . Investor's Business Daily . 2026年1月20日閲覧
  10. ^ 「MKS Instruments、Atotech買収の完了を発表」(プレスリリース)。MKS Instruments。2022年8月17日 – GlobeNewswire経由。
  11. ^ 「MKSに譲渡された特許」
  12. ^ 「MKS Instruments、炭素排出量の削減に取り組む」