マスフローコントローラ

Device that controls liquid and gas flow

マスフローコントローラ（MFC ）は、液体や気体の流れを測定および制御するために使用されるデバイスです。^[1]マスフローコントローラは、特定の種類の液体または気体を特定の流量範囲で制御するように設計および校正されています。MFCには、フルスケール範囲の0～100％の設定値を与えることができますが、通常はフルスケールの10～90％で動作し、最高の精度が得られます。その後、デバイスは指定された設定値まで流量を制御します。MFCは、アナログまたはデジタルのいずれかです。デジタルフローコントローラは通常、複数の種類の流体を制御できますが、アナログコントローラは校正された流体に制限されます。

すべてのマスフローコントローラ（MFC）には、入口ポート、出口ポート、マスフローセンサー、そして比例制御弁が備わっています。MFCには閉ループ制御システムが装備されており、オペレータ（または外部回路／コンピュータ）からの入力信号とマスフローセンサーの値を比較し、比例制御弁を調整して必要な流量を実現します。流量は、校正されたフルスケール流量に対するパーセンテージで指定され、電圧信号としてMFCに供給されます。

マスフローコントローラは、供給ガスまたは液体が特定の圧力範囲内にあることを必要とします。圧力が低いと、MFCへの流体供給が不足し、設定圧力に到達できなくなります。圧力が高いと、流量が不安定になる可能性があります。流体の流量を測定し、最終的には流量を制御するのに役立つ技術は数多くあります。これらの技術によってマスフローコントローラの種類が定義され、差圧（ΔP）、差温（ΔT）、コリオリ、超音波、電磁、タービンなどがあります。

参照

参考文献

^ Tison, SA (1996). 「熱式質量流量計の批判的評価」(PDF) . Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films . 14 (4): 2582– 2591. Bibcode :1996JVSTA..14.2582T. doi :10.1116/1.579985. ISSN 0734-2101. S2CID 39546958. 2019年3月2日時点のオリジナル(PDF)からのアーカイブ。

外部リンク

マスフローコントローラの仕組みビデオ
熱式質量流量計/コントローラ（動作原理）ビデオ
MEMSベースの熱質量流量コントローラのビデオ

[1] Tison, SA (1996). 「熱式質量流量計の批判的評価」(PDF) . Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films . 14 (4): 2582– 2591. Bibcode :1996JVSTA..14.2582T. doi :10.1116/1.579985. ISSN 0734-2101. S2CID 39546958. 2019年3月2日時点のオリジナル(PDF)からのアーカイブ。