1 - 基板
2 - 圧電層
3 - 受動層
4 - 機械的接触領域
5 - トラック
バイモルフは、アクチュエーションまたはセンシングに使用されるカンチレバーで、 2つのアクティブ層で構成されています。2つのアクティブ層の間にパッシブ層が設けられる場合もあります。一方、圧電ユニモルフは、アクティブ層（圧電層）とパッシブ層（非圧電層）がそれぞれ1つずつしか備えていません。
圧電バイモルフ
バイモルフという用語は、圧電バイモルフで最も一般的に使用されます。アクチュエータ用途では、電圧を印加すると一方の活性層が収縮し、もう一方の活性層が膨張するため、バイモルフは曲がります。センシング用途では、バイモルフを曲げることで電圧が発生し、例えば変位や加速度の測定に利用できます。このモードは、エネルギーハーベスティングにも利用できます。[1]
バイメタルバイモルフ
バイメタルは熱活性化バイモルフと見なすことができます。熱活性化バイモルフの曲げに関する最初の理論は、ストーニーによって提唱されました。[2]その後の開発により、静電活性化バイモルフはマイクロエレクトロメカニカルシステムにも利用できるようになりました。[3]
参照
参考文献
- ^ Al-Ashtari, W.; Hunstig, M..; Hemsel, T.; Sextro, W. (2013年7月14日)「自律システムにおける圧電エネルギーハーベスターの特性」第10回圧電材料と応用に関する国際ワークショップおよび第8回エネルギーハーベスティングワークショップの議事録(PDF) 、 2016年1月31日閲覧[永久リンク切れ]
- ^ ストーニー、G. ジェラルド (1909年5月6日). 「電気分解によって堆積した金属膜の張力」.ロンドン王立協会紀要. 82 (553): 172– 175. Bibcode :1909RSPSA..82..172S. doi : 10.1098/rspa.1909.0021 .
- ^ Conrad, Holger (2015年12月11日). 「大きな偏向を実現する小ギャップ静電マイクロアクチュエータ」. Nature Communications . 6 10078. Bibcode :2015NatCo...610078C. doi :10.1038/ncomms10078. PMC 4682043. PMID 26655557 .
