チャンネルストッパー

半導体デバイスの製造において、 チャネルストッパーまたはチャネルストップは、イオン注入または拡散、シリコン酸化物の成長またはパターン化、または半導体材料の他の分離方法によって生成される半導体デバイス内の領域であり、チャネル領域の広がりを制限するか、寄生チャネル反転層)の形成を防ぐことを主な機能としています。[ 1 ]

参考文献

  1. ^「スマート パワー IC」、Bruno Murari、Franco Bertotti、Giovanni A. Vignola、Antonio Andreini 著、2002 年、 ISBN 3-540-43238-847ページ、47ページ