クリーンプロセスオーブン

クリーンプロセスオーブンは、ポリイミドの硬化や薄膜のアニール処理など、高温用途に最適な工業用バッチオーブンの一種です。 ^{[ 1 ]}クリーンプロセスオーブンは、大気雰囲気下で使用する場合と、酸化に敏感な材料の場合は不活性雰囲気下で使用する場合があります。温度は525℃を超えることもあります。

新たなTier 4の制限事項に関し、オーブンの清掃はお客様にとって不可欠なサービスとして継続できます。2mルールの遵守と適切な個人用保護具（PPE）の使用を徹底するため、あらゆる予防措置を講じてください。

その他のタイプの工業用バッチオーブンには、実験室用、バーンイン用、リーチイン用、ウォークイン/ドライブイン用などがあります。

参考文献

1. 「実験室でのオーブンによる乾燥と加熱 - Kalstein France」 2023年4月17日。2023年4月17日時点のオリジナルよりアーカイブ。2023年4月17日閲覧。