密閉空間昇華は、薄膜、特にテルル化カドミウム太陽電池を製造する方法ですが、三セレン化アンチモンなどの他の材料にも使用されます。[ 1 ]
これは物理蒸着法の一種で、コーティングする基板と原料物質を互いに近づけて保持します。両者は真空チャンバー内に配置され、真空引きされます。次に、原料物質と基板が加熱されます。原料物質は融点の何分の一かまで加熱され、基板はそれより低い温度、例えばそれぞれ640℃と600℃まで加熱されます。[ 2 ] これにより原料物質が昇華し、蒸気が基板まで短距離移動して凝縮し、薄膜が生成されます。この短経路拡散は原理的には短経路蒸留に似ています。他の技術と比較して、このプロセスは比較的鈍感で、1サイクル全体でわずか15分しかかかりません。[ 3 ]このため、大規模製造に非常に有効な技術となっています。[ 4 ]
参考文献
- ^バーケット、マックス；リンハート、ヴォイチェフ；ストーナー、ジェシカ；フィリップス、ローリー（2018年5月24日）「光反射法による近接空間昇華成長Sb2Se3のバンドギャップ温度依存性」 APL Materials . 6 (8): 084901. Bibcode : 2018APLM....6h4901B . doi : 10.1063/1.5027157
- ^ Guogen Liu; Zimeng Cheng; Georgiou, George E.; Chin, Ken K. (2015年6月). 「近接昇華法によるCdTe薄膜の成長モデル」 . 2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference (PVSC) . IEEE. pp. 1– 5. doi : 10.1109/pvsc.2015.7355909 . ISBN 978-1-4799-7944-8. S2CID 31360926 .
- ^アレクサンドラ・M・ボスウェル、ジェニファー・A・ドレイトン、パスカル・M・ジャント、ジェームズ・R・サイトス (2020-03-06). 「短絡電流密度とフォトルミネセンスの向上のための近接空間昇華堆積超薄型CdSeTe/CdTe太陽電池」 Journal of Visualized Experiments (157) e60937. doi : 10.3791 /60937 . ISSN 1940-087X . OSTI 1721473. PMID 32202534. S2CID 214617834
- ^ Potamialis, C.; Lisco, F. 「近距離昇華法によるCdTe薄膜の製造」（PDF） .新型・持続可能な太陽光発電博士課程教育センター. 再生可能エネルギーシステム技術センター（CREST）、ウルフソンスクール、ラフバラ大学. 2019年4月26日閲覧。