コーネル大学ナノスケール科学技術施設
コーネル・ナノスケール科学技術施設（CNF）は、ニューヨーク州イサカにあるコーネル大学内にある科学ユーザー施設およびクリーンルームです。CNFは、国立ナノテクノロジー協調基盤（NNCI）の16のメンバー機関の一つです。
CNFは1977年に全米科学財団（NSF）の取り組みの一環として設立され、その後、他のNSFプログラムによって部分的に支援されてきました。[ 1 ] 現在、CNFは毎年約2,000万ドルの連邦資金を受けています。[ 2 ] 2004年、CNFはコーネル大学からの1億ドルの支援を受けて、現在の施設であるダフィールド・ホールに移転しました。現在、ダフィールド・ホールには15,000平方フィートのレベル1000クリーンルームに加え、その数倍の非クリーンルーム実験室スペースがあります。[ 3 ] 2009年、NNINはアメリカ復興・再投資法（American Recovery and Reinvest Act）の一環として1,000万ドルの資金提供を受けました。[ 4 ]
CNFは一般利用者向けの施設であり、多くの利用者はコーネル大学や近隣の大学に所属していますが、世界中の幅広い大学や企業からも利用者が集まっています。[ 5 ] 毎年約700人の科学者がこの施設を利用しており、その半数はコーネル大学に関係しています。[ 6 ]
CNFは、 MEMS、マイクロ流体工学、ナノマグネティクス、バイオエレクトロニクスなど、幅広い分野の研究に利用されています。電子ビームリソグラフィー、フォトリソグラフィー、化学蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性イオンエッチングなどのプロセス用の製造ツールが含まれています。また、走査型電子顕微鏡、エリプソメーター、電気測定用プローブステーション などの特性評価装置も含まれています。
参考文献
- ^ 「CNFの簡潔な歴史」 。 2012年5月16日閲覧。
- ^ 「大統領の訪問はニューヨーク州北部のハイテク産業の成長に焦点を当てる」2012年5月16日閲覧。
- ^ 「コーネル大学ナノスケール科学技術施設」2012年5月16日閲覧。
- ^ 「コーネル大学ナノスケール科学技術施設、設備アップグレード支援のための刺激基金を受け取る」 2009年10月27日。 2012年5月16日閲覧。
- ^ 「2010-2011 CNF研究成果」(PDF) . 2012年5月16日閲覧。
- ^ 「コーネル大学ナノスケール科学技術施設（CNF） - プロフィール」。2014年1月16日時点のオリジナルよりアーカイブ。 2012年5月16日閲覧。
