蛍光マイクロサーモグラフィー

蛍光マイクロサーモグラフィー（FMT）は、微小スケールの温度分布を赤外線で画像化する顕微鏡技術です。0.5マイクロメートルの空間分解能と0.005  Kの温度分解能を実現できます。蛍光寿命は約200マイクロ秒と短いため、時間依存の測定が可能です。

蛍光体であるユーロピウムテノイルトリフルオロアセトネートの薄膜を表面（例えば集積回路チップ）に塗布し、340～380 nmの紫外線を照射すると、主に612 nmの線で蛍光が励起されます。蛍光の量子効率は温度とともに指数関数的に低下するため、発光強度の違いから表面温度の違いを評価することができ、高温部分は暗く表示されます。^{[ 1 ]}

参考文献

1. シュローダー、ディーター・K.（2006年2月10日）.半導体材料とデバイスの特性評価. ジョン・ワイリー・アンド・サンズ. ISBN 9780471749080– Google ブックス経由。