ハンス・ファイファー

ハンス＝クリスチャン・ファイファー（1937年1月7日 - 2022年11月15日）は、電子ビームリソグラフィーの開発への貢献で最もよく知られているドイツの物理学者でした。

人生

ハンス＝クリスチャン・ファイファーは1937年1月7日、ドイツのザクセン州クルムヘルムスドルフで生まれた。^[¹^]

ファイファー博士は1967年にベルリン工科大学で博士号を取得し、翌年IBMに入社しました。彼はそのキャリアの中で、世界クラスのチームを結成し、IBMの電子ビームリソグラフィーシステムの数世代の開発を主導しました。彼は業界初の成形ビームリソグラフィーシステムの開発で知られています。

ファイファー博士は1985 年にIBM フェローに選出されました。

彼は2022年11月15日に亡くなった。^{[ 1 ]}

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