真空科学技術ジャーナル

*真空科学技術ジャーナル*
規律	物理
言語	英語
編集者	エレイ・アイディル
出版の詳細
歴史	1964年～現在
出版社	アメリカ物理学会（アメリカ真空学会を代表して）（米国）
頻度	隔月刊
インパクトファクター	2.4（パートA）1.5（パートB）（2023）
標準的な略語ISO 4 ( alt ) · Bluebook ( alt ) NLM ( alt ) · MathSciNet ( alt )
ISO 4	ジャーナル・オブ・バカロレア・サイエンス・テクノロジー
インデックス作成CODEN ( alt · alt2 ) · JSTOR ( alt ) · LCCN ( alt ) MIAR · NLM ( alt ) · Scopus · W&L
	真空科学技術ジャーナル
ISSN	0022-5355
	真空科学技術ジャーナルA
コーデン	JVTAD6
ISSN	0734-2101 （印刷） 1520-8559 （ウェブ）
LCCN	83643441
OCLC 番号	08697396
	真空科学技術ジャーナルB
コーデン	JVTBD9
ISSN	0734-211X
LCCN	83642371
OCLC 番号	08697479
リンク
	ジャーナルのホームページ; パートA; パートB;

『Journal of Vacuum Science and Technology』は、アメリカ物理学会がアメリカ真空学会の委託を受けて発行する査読付き科学誌で、 A部とB部の2部構成となっています。1964年に創刊され、編集長はエレイ・アイディル（ミネソタ大学）です。

歴史

1964–1982真空科学技術ジャーナル
1983年～現在真空科学技術ジャーナルA：真空、表面、膜
1983–1990真空科学技術ジャーナル B: マイクロエレクトロニクス処理と現象
1991年～現在Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

パートAは、応用表面科学、電子材料とプロセス、核融合技術、プラズマ技術、表面科学、薄膜、真空冶金、真空技術をカバーしています。Journal Citation Reportsによると、このジャーナルの2015年のインパクトファクターは1.724です。^{[ 1 ]}

パートBでは、様々な材料の真空・プラズマ処理、その構造特性評価、マイクロリソグラフィー、そしてサブミクロンおよびナノメートルの構造とデバイスの物理化学を扱っています。Journal Citation Reportsによると、このジャーナルの2014年のインパクトファクターは1.398です。^{[ 2 ]}