| 以前は | KLA-Tencor Corporation(1997~2019年) |
|---|---|
| 会社の種類 | 公共 |
| 業界 | 半導体 |
| 設立 | 1997年(KLAとTencorの合併) (1997年) |
| 本部 | ミルピタス、カリフォルニア州、アメリカ合衆国 |
主要人物 | |
| 製品 | 半導体、ウェーハ、レチクル、その他関連産業をサポートするプロセス制御システムおよびソリューション |
| 収益 | |
| 総資産 | |
| 総資本 | |
従業員数 | 約 15,000 (2025年) |
| Webサイト | kla.com |
| 脚注/参考文献2025年6月30日現在の財務状況。[ 1 ] | |
KLAコーポレーションは、カリフォルニア州ミルピタスに本社を置く米国企業で、ウェーハ製造装置を製造しています。半導体産業および関連するナノエレクトロニクス産業向けに、プロセス制御および歩留まり管理システムを提供しています。同社の製品とサービスは、研究開発から最終量産まで、ウェーハ、レチクル、集積回路(IC)、パッケージング製造のあらゆる段階を対象としています。[ 2 ]
KLAコーポレーションは、1997年に半導体装置および歩留まり管理システム業界の2つの企業であるKLAインスツルメンツとテンコールインスツルメンツの合併によりKLA-Tencorとして設立されました。 [ 3 ]この合併は、チッププロセスおよび診断装置の単一ソースを作ることを目的としていました。[ 3 ] KLAインスツルメンツは1975年にケン・レヴィとボブ・アンダーソンによって設立され、チップの欠陥を識別するためのフォトマスク検出に焦点を当てていました。KLAは後に製品ラインを拡大し、ウェーハ検査、ウェーハ計測、統合検査および分析ソフトウェアを含めました。[ 4 ] Tencorは1976年にチェコスロバキアの科学者で米国移民のカレル・ウルバネックと同僚のジョン・シュワバッハによって設立されました。[ 5 ] [ 6 ]当初は半導体フィルム層の厚さの正確な測定に焦点を当て、1984年に粒子やその他の汚染を検出するレーザースキャン技術を開発しました。[ 4 ]合併当時、両社の合計年間売上高は10億ドルを超えていました。[ 3 ]
1998年2月、KLA-Tencorは、ウェーハの形状と厚さの測定に高度な干渉技術を使用していたドイツのフライブルクに拠点を置くNanopro GmbHを買収しました。 [ 7 ] 4月には、半導体製造などの用途向け走査型電子顕微鏡(SEM)システムのプロバイダーであるマサチューセッツ州ベッドフォードに拠点を置くAmray, Inc.を買収しました。 [ 8 ] 6月には、画像アーカイブおよび検索システムの開発者であるカリフォルニア州サンノゼに拠点を置くVARSを買収しました。 [ 7 ] 11月には、KLA-Tencorはオハイオ州ソロンに拠点を置く計測機器メーカーのKeithley Instrumentsから酸化物モニタリング製品のQuantoxラインを買収しました。[ 9 ] 12月には、 Uniphase Corporation の子会社Ultrapointeを買収しました。[ 10 ]
1999年12月、同社は台湾に拠点を置く歩留まり解析ソフトウェアメーカーであるACME Systemsを買収した。[ 11 ]
2000年2月、KLA-Tencorはテキサス州オースティンに拠点を置くリソグラフィーモデリングおよび解析ソフトウェアの開発会社Finle Technologies, Inc.を買収した。[ 12 ] 3月には、同社はテキサス州オースティンに拠点を置く高度プロセス制御(APC)ソフトウェア開発会社Fab Solutionsを親会社ObjectSpaceから買収した。[ 13 ]
2001年に同社は歩留まり管理およびプロセス制御会社であるPhase Metrics, Inc.を買収した。[ 14 ]
2004年にKLA-Tencorは表面検査システムメーカーCandela Instruments, Inc. [ 15 ]とInspex, Inc.のウェーハ検査システム事業を買収した。[ 16 ]
2006年に同社はシリコンウェーハ計測機器および関連機器のサプライヤーであるADEコーポレーションを買収した。[ 17 ]
2007年、KLA-Tencorはリソグラフィーおよびプラズマエッチング製品メーカーのOnWafer Technologies [ 18 ] 、温度モニタリング企業のSensArray Corporation [ 18 ]、およびプロセス制御および計測企業のTherma-Wave Corporation [ 19 ]を買収しました。
2008年に同社は試験計測会社ICOS Vision Systems Corporation NVを買収した[ 20 ]。またVistec Semiconductor Systems, Inc.のMicroelectronic Inspection Equipment (MIE)事業部門も買収した[ 21 ]。
2010年にKLA-Tencorはテクノロジーハードウェア企業のAmbios Technology, Inc.を買収した。[ 21 ]
2014年に同社は計算リソグラフィーおよび検査会社であるルミネセント・テクノロジーズ社を買収した。[ 21 ]
2017年に同社は光学プロファイリング・検査会社ゼータテクノロジーズ株式会社を買収した。[ 21 ]
2018年、KLA-TencorはKeysight TechnologiesからNano Indenter製品ラインを買収しました。同社はまた、Nanomechanics Inc.とMicroVisionも買収しました。[ 21 ]
2018年3月、KLA-Tencorはイスラエルのヤブネに拠点を置く自動光学検査装置ベンダーのOrbotechを約34億ドルで買収する契約を発表しました。 [ 22 ] Orbotechはまた、英国ウェールズのニューポートに拠点を置くSPTS Technologies Ltdも所有していました。同社はMEMS、先進パッケージング、LED、高速RF、電力管理デバイス向けのエッチング、PVD、CVDウェーハ処理装置のメーカーです。 [ 23 ]

2019年1月10日、KLA-Tencorは社名をKLA Corporationに変更すると発表した。[ 24 ] 2月には、同社はOrbotechの買収が完了したと発表した。[ 22 ]社名変更は2019年7月に発効した。[ 25 ] 6月、KLAはミシガン州アナーバー近郊に第2の米国本社を開設する計画を発表した。この施設は2021年夏にオープンする予定で、500~600人の新規雇用を想定しており、そのうち約50%はエンジニアとなる予定である。[ 26 ]この施設はミシガン大学と関係を持ち、自動車業界との提携を支援すると報じられている。
2019年8月、KLA-Tencorは半導体業界向けのプロセス制御ソフトウェアを専門とするドイツのソフトウェア会社Qoniac GmbHを買収した。[ 27 ]
同社は2021年7月に自動車用チップの新しい検査製品を導入した。[ 28 ] 11月には、KLAの新しい北米本社がミシガン州アナーバー近郊にオープンした。[ 29 ]この施設は23万平方フィートで、1,000人の従業員をサポートするように設計されている。[ 29 ]
2008年1月、KLAは、同社と一部の幹部が違法にストックオプションの付与を遡及させたという疑惑を和解させるために6500万ドルを支払った。[ 30 ]米国証券取引委員会は、「KLAは報告された財務実績を大幅に水増しし、投資家から同社の報酬費用と財務実績に関する正確な情報を奪った。このような行為は許されないと警告されていたにもかかわらず、上場企業がこのような不正行為を行ったことは特に問題である」と述べた。[ 31 ]
KLA財団(元々はKLA-Tencor財団)は、同社の慈善部門であり、2000年に設立されました。[ 32 ] KLA財団は、ミルピタス学区、アメリカ赤十字社、シリコンバレーリーダーシップグループのCOVID-19支援連合への寄付など、KLAの従業員が住む世界中のコミュニティを支援し、利益をもたらしています。[ 33 ]