ネイティブ名 | 크시스템스 주식회사 |
|---|---|
| 以前は | PSIA (韓国語: 피에스아이에이 ) |
| 会社の種類 | 公共 |
| KRX : 140860 | |
| 設立 | 1997年4月7日 (1997年4月7日) |
| 創設者 | 朴相一 |
| 本部 | 霊通区光橋路109、 |
サービスエリア | 全世界 |
主要人物 | 朴相一(会長兼CEO) |
| 製品 | |
| 収益 | |
従業員数 | 545名(子会社を含む) (2024年度) |
| Webサイト | www.parksystems.com |
パークシステムズ株式会社(韓国語:파크시스템스 주식회사)は、韓国の科学機器メーカーです。パークシステムズは、原子間力顕微鏡(AFM)で最もよく知られています。本社は京畿道水原市にあり、米国、日本、シンガポール、台湾、ドイツ、スイスに支社があります。[ 1 ]
パークシステムズは、 1997年4月7日にPSIA(韓国語:피에스아이에이 )として設立されました。 [ 2 ] [ 3 ]同社は2007年にパークシステムズに社名を変更しました。[ 4 ]
パークシステムズの創設者であるパク・サンイル博士は、スタンフォード大学でカルビン・クエイト教授に師事した博士課程の学生でした。1986年、パク博士がクエイト教授の研究室に在籍していたとき、クエイト教授、ゲルト・ビニング氏、クリストフ・ガーバー氏は、原子間力顕微鏡(AFM)の最初の実験的実装を達成しました。[ 5 ]スタンフォード大学を卒業後、パク博士は1988年にシリコンバレーに原子間力顕微鏡メーカーであるパークサイエンティフィックインストゥルメンツ(PSI)を設立しました。[ 6 ]パク博士は1997年にPSIをサーモエレクトロンに売却した後、韓国に戻りました。[ 7 ] [ 8 ] [ 9 ]
1997年4月7日、[ 2 ] PSIAは朴相一によって設立されました。[ 9 ] PSIAの「A」は「Advanced」の略で、PSIよりも高度な技術を開発するという同社の目標を反映しています。[ 10 ]創業当初はPSI製品の輸入販売に依存していましたが、すぐに産業用原子間力顕微鏡の開発と製造を独自に開始しました。[ 7 ] 2002年、PSIAは韓国初の研究用AFMであるXE-100を発売しました。[ 11 ] 2006年、PSIAは本社を韓国先端ナノファブセンター(KANC、韓国語:한국나노기술원)に移転しました。[ 9 ]
2007年4月6日、PSIAは創立10周年を記念して社名をパークシステムズに変更した。[ 4 ] 2015年3月23日、パークシステムズとIMECは、半導体製造用の産業用AFM技術を開発するための共同開発プロジェクト(JDP)を開始した。[ 12 ]同年12月17日、パークシステムズはKOSDAQ証券取引所にティッカーシンボルKRX : 140860で上場した。[ 13 ] 2020年2月17日、同社はIMECとの2番目の共同開発プロジェクトを開始した。[ 14 ]
2022年9月6日、パークシステムズは、ドイツのイメージング分光エリプソメーターおよびアクティブ振動絶縁テーブルメーカーであるAccurion GmbHの買収を発表しました。[ 15 ] 2025年初頭、パークシステムズはスイスのデジタルホログラフィック顕微鏡メーカーであるLyncée Tecを買収しました。[ 16 ]
パークシステムズのAFM製品は、XYスキャナがサンプルを水平方向に移動し、別のZスキャナがプローブを垂直方向に移動する、分離されたフレクシャースキャナアーキテクチャを採用しています。[ 17 ]
同社のAFMは「真の非接触」として販売されている非接触モードで動作し、プローブの先端がサンプル表面に接触しません。[ 17 ]
2010年に同社の産業用AFM技術は韓国政府により国家中核技術に指定された。[ 18 ] [ 19 ]
パークシステムズは、原子間力顕微鏡(AFM)、イメージング分光エリプソメーター(ISE)、アクティブ振動絶縁テーブル(AVI)[ 20 ]、デジタルホログラフィック顕微鏡(DHM)[ 21 ]を製造しています。