パーフルオロデシルトリクロロシラン

パーフルオロデシルトリクロロシラン
名前
	IUPAC名トリクロロ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-ヘプタデカフルオロデシル)シラン
	その他の名前 FDTS; パーフルオロデシルトリクロロシラン; パーフルオロオクチルエチルトリクロロシラン; 1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリクロロシラン; トリクロロ-1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルシラン;
識別子
CAS番号	78560-44-8;
3Dモデル（JSmol）	インタラクティブ画像;
ケムスパイダー	110171;
ECHA 情報カード	100.110.513
EC番号	616-629-4;
PubChem CID	123577;
CompToxダッシュボード（EPA）	DTXSID2074376;
	InChI InChI=1S/C10H4Cl3F17Si/c11-31(12,13)2-1-3(14,15)4(16,17)5(18,19)6(20,21)7(22,23)8(24,25)9(26,27)10(28,29)30/h1-2H2 キー: VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYSA-N; InChI=1/C10H4Cl3F17Si/c11-31(12,13)2-1-3(14,15)4(16,17)5(18,19)6(20,21)7(22,23)8(24,25)9(26,27)10(28,29)30/h1-2H2 キー: VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYAV;
	笑顔 C(C[Si](Cl)(Cl)Cl)C(C(C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F;
プロパティ
化学式	CF; 3（CF; 2) 7 ( CH; 2）2SiCl; 3
モル質量	581.556 [g/モル]
外観	無色の液体
臭い	刺激臭があり、HClに似ている
密度	1.7 g/cm 3
沸点	224℃（435℉; 497K）
水への溶解度	加水分解
溶解度	THF、THP、トルエン、その他の有機溶媒に可溶
危険
	労働安全衛生（OHS/OSH）：
主な危険	湿気に敏感
	特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）における材料のものです。情報ボックスの参照

化合物

ペルフルオロデシルトリクロロシラン（ FDTS）は、分子式C ₁₀H ₄Cl ₃F ₁₇Siの無色の液体化学物質です。FDTS分子は自己組織化単分子膜を形成し、ガラス、セラミック、シリカなどの表面にある遊離水酸基（-OH）とシリコン-酸素共有結合を形成します。

FDTS単分子膜は、その高度にフッ素化された末端基により、表面エネルギーを低減します。FDTS単分子膜の堆積は、分子蒸着（MVD）とも呼ばれる比較的単純なプロセスによって実現されます。通常、このプロセスは室温または室温付近の温度（50℃）で気相から堆積するため、ほとんどの基板に適合します。このプロセスは通常、真空チャンバー内で行われ、水蒸気の存在が促進されます。処理された表面は撥水性と摩擦低減特性を有します。

このため、FDTS単分子膜は、微小電気機械システム（MEMS）の可動マイクロ部品によく適用されています。^{[2] FDTS単分子膜は表面エネルギーを低減し、固着を防ぐため、}ナノインプリントリソグラフィー用のスタンプ上にマイクロおよびナノの特徴をコーティングするために使用されます。ナノインプリントリソグラフィーは、電子機器、有機フォトダイオード、マイクロ流体デバイスなどの製造に好まれる方法になりつつあります。

表面エネルギーの低減は射出成形におけるポリマー部品の取り出し力と脱型力の低減に役立ち、FDTSコーティングはいくつかの金属製射出成形金型とインサートに適用されている^{[3] 。}

参考文献

Srinivasan, U.; Houston, MR; Howe, RT; Maboudian, R.; , 「シリコンマイクロマシンのスティクション低減のためのアルキルトリクロロシラン系自己組織化単分子膜」、Microelectromechanical Systems, Journal of , vol.7, no.2, pp. 252–260, Jun 1998. doi: 10.1109/84.679393
Ruben BA Sharpe、Dirk Burdinski、Jurriaan Huskens、Harold JW Zandvliet、David N. Reinhoudt、およびBene Poelsema、「マイクロコンタクト印刷のための化学的にパターン化されたフラットスタンプ」、Journal of the American Chemical Society 2005 127 (29)、10344-10349。
Ashurst, WR, Carraro, C., Maboudian, R., 「MEMS用気相アンチスティクションコーティング」IEEE Transactions on Device and Materials Reliability, Vol. 3, No. 4, pp. 173–178, 2003. doi: 10.1109/TDMR.2003.821540

^ ab "1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリクロロシラン" (PDF) . apolloscientific.co.uk .
^ Ashurst, WR (2003年12月). 「MEMS用気相アンチスティクションコーティング」. IEEE Transactions on Device and Materials Reliability . 3 (4): 173– 178. doi :10.1109/TDMR.2003.821540.
^ Cech J, Taboryski R (2012). 「アルミニウム射出成形ツールにおけるFDTS単層コーティングの安定性」.応用表面科学. 259 : 538– 541. Bibcode :2012ApSS..259..538C. doi :10.1016/j.apsusc.2012.07.078.

[apolloscientific.co.uk-1] "1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリクロロシラン" (PDF) . apolloscientific.co.uk .

[2] Ashurst, WR (2003年12月). 「MEMS用気相アンチスティクションコーティング」. IEEE Transactions on Device and Materials Reliability . 3 (4): 173– 178. doi :10.1109/TDMR.2003.821540.

[3] Cech J, Taboryski R (2012). 「アルミニウム射出成形ツールにおけるFDTS単層コーティングの安定性」.応用表面科学. 259 : 538– 541. Bibcode :2012ApSS..259..538C. doi :10.1016/j.apsusc.2012.07.078.