共振器モード

共振器モード[1]ではプラズマ密度臨界密度を超えない 。共振器空洞に閉じ込められた 定在電磁波はプラズマを貫通し、最も高い電界強度の領域にプラズマを維持する。この領域の形状がプラズマの空間分布を決定する。共振器モードで励起されたプラズマは、表面波プラズマと比較して、例えば電気プローブ(ラングミュアプローブ)や導電性サンプルの挿入によるデチューニングに対する耐性が低い。このモードでは、高いプラズマ密度が擾乱電位をより良く遮蔽する。

参考文献

  1. ^ 「マイクロ波放電プラズマ」piescientific.com . 2021年6月7日. 2025年8月22日閲覧
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