スクラッチドライブアクチュエータ

スクラッチドライブアクチュエータ

スクラッチドライブアクチュエータ（SDA）は、電気エネルギーを1次元の動きに変換する微小電気機械システムデバイスです。 ^{[1] [2]}

説明

アクチュエータ部品は、製造方法に応じて様々な形状とサイズがあります。「L」字型に視覚化できます。小さい方の端は「ブッシング」と呼ばれます。

アクチュエータは、薄い絶縁誘電体層を備えた基板上に設置されています。アクチュエータと基板の間に電圧を印加すると、その電位によってアクチュエータ本体が下方に引っ張られます。このとき、ブラシはわずかに前方に押し出され、歪んだアクチュエータにエネルギーが蓄えられます。電圧が除去されると、アクチュエータは元の形状に戻りますが、ブッシングは元の位置に留まります。パルス電圧を印加することで、SDAを前方に移動させることができます。

電圧は通常、「テザー」を介してアクチュエータに印加されます。テザーは、SDAが追従する剛性コネクタまたはレールで構成されます。^[3]

SDA のサイズは通常、μmスケールで測定されます。

参考文献

1. Li, Lijie; Brown, J. Gordon; Uttamchandani, Deepak (2002). 「スクラッチ駆動アクチュエータの力特性に関する研究」. Journal of Micromechanics and Microengineering . 12 (6): 736– 741. Bibcode :2002JMiMi..12..736L. doi :10.1088/0960-1317/12/6/303. ISSN  0960-1317. S2CID  250890890.
2. 藤田 博之; 利吉 博 (1998年9月). 「マイクロアクチュエータとその応用」.マイクロエレクトロニクスジャーナル. 29 (9): 637– 640. doi :10.1016/S0026-2692(98)00027-5. ISSN  0026-2692.
3. Cooney, Michael (2008年6月2日). 「Dancing microrobots waltz on a pin's head」. Network World . 2018年7月6日閲覧。