トーマス・ユージン・エバーハート
トーマス・ユージン・エバーハート
1987年のエバーハート
カリフォルニア工科大学の第5代学長
在任期間：1987～1997年
先行マーヴィン・ゴールドバーガー
後継者デビッド・ボルティモア
イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校第4代学長
在任期間：1984～1987年
先行ジョン・E・クリベット
後継者モートン・W・ウィアー
個人情報
生まれる（1932年2月15日）1932年2月15日
カンザスシティ、ミズーリ州、米国
教育ハーバード大学( BA )カリフォルニア大学ロサンゼルス校( MS ) ケンブリッジ大学クレアカレッジ( PhD )
科学者としてのキャリア
受賞歴マーシャル奨学金（1955年）IEEE百周年記念メダル（1984年）クラーク・カー賞（1992年） ASEE百周年記念メダル（1993年）IEEE創設者賞（2002年）大川賞（2002年）
フィールド電気工学、応用物理学
機関カリフォルニア大学バークレー校、コーネル大学、イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校、カリフォルニア工科大学、ケンブリッジ大学
論文走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成 （1958年）
博士課程の指導教員チャールズ・オートリー

トーマス・ユージーン・エバーハート（1932年2月15日、ミズーリ州カンザスシティ生まれ）[ 1 ]は、アメリカの大学学長、教育者、物理学者です。専門分野は電子ビーム物理学です。リチャード・F・M・ソーンリーと共にエバーハート・ソーンリー検出器を設計しました。最初の検出器は1956年に登場しましたが、 この検出器は現在でも走査型電子顕微鏡で使用されています。

エヴァーハートは、走査型電子顕微鏡の電子光学とその電子工学および生物学への応用への貢献により、1978年に米国工学アカデミーの会員に選出された。 1990年には王立工学アカデミーの国際フェローに任命された。 [ 2 ]彼は1984年から1987年までイリノイ大学アーバナ・シャンペーン校の学長を務め、 1987年から1997年まで カリフォルニア工科大学の学長を務めた。

幼少期と教育

エバーハートの両親はウィリアム・E・エバーハートとエリザベス・A・ウェストである。エバーハートは1953年にハーバード大学で物理学の学士号を取得し、 1955年にカリフォルニア大学ロサンゼルス校で応用物理学の修士号を取得した。彼はケンブリッジ大学クレア・カレッジでマーシャル奨学金を受け、 1958年にチャールズ・オートリー教授の指導の下、物理学の博士号を取得した。[ 1 ]

キャリア

エバーハート・ソーンリー検出器

エバーハートは1955年、ケンブリッジ大学でチャールズ・オートリーの指導の下、電子検出と走査型電子顕微鏡（SEM）の設計に取り組み始めた。 [ 3 ]最初のプロトタイプであるSEM1はデニス・マクマレンによって開発され、彼は1952年に学位論文「電子顕微鏡の設計に関する調査」を発表した。 [ 3 ] [ 4 ]これはケン・CA・スミスによってさらに改良され、低エネルギーの二次電子を効率的に検出する方法が開発された。[ 5 ]オートリーと彼の学生はSEMを使用して、表面トポグラフィーを研究するためのさまざまな新しい技術を開発した。[ 3 ] [ 6 ]

エバーハートは低エネルギー二次電子の検出技術を開発した。1958年の博士論文は「走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成」であった。[ 6 ] SEMで検出された電子を解析した結果、測定された信号の約67%は試料からの低エネルギー二次電子に起因すると報告した。[ 7 ]約3%は高エネルギー反射電子によるものであった。[ 5 ]また、彼は導入されるノイズをモデル化する方程式も提示した。[ 3 ] [ 7 ]

試料に印加される電圧と、その結果得られる画像コントラストの関係を説明するために「電圧コントラスト」という用語を使用したのは、エバーハートである。[ 8 ] [ 9 ] 1959年、エバーハートはバイアスされたシリコンダイオードのpn接合部の最初の電圧コントラスト画像を実現した。[ 10 ]試料の表面電位の変化を検出する能力である電圧コントラストは、現在、半導体の特性評価、診断、および故障解析に使用される複数の画像化モードの1つである。販売されているSEMの半分は、半導体用途に使用されていると考えられている。[ 11 ]

エバーハートはコントラストのメカニズムを詳細に研究し、固体からの電子の反射に関する新しい理論を開発しました。[ 12 ]彼はまた、SEMにおけるビームの浸透が画像形成に与える影響についての最初の定量的研究を行いました。

1960年、エバーハートとリチャード・FM・ソーンリーは、二次電子検出器の改良設計に関する記述を発表しました。これは、以来エバーハート・ソーンリー検出器として知られています。エバーハートとソーンリーは、走査型電子顕微鏡の真空試料室内のシンチレータからチャンバー外の光電子増倍管に光子信号を伝送するための光パイプを追加することで、既存の検出器の効率を高めました。[ 13 ] これにより、収集された信号が強化され、信号対雑音比が向上しました。1963年、ピーズとニクソンは、後にケンブリッジ・サイエンティフィック・インスツルメンツ・マークI ステレオスキャンとして開発された最初の商用SEMのプロトタイプにエバーハート・ソーンリー検出器を組み込みました。このタイプの二次電子および後方散乱電子検出器は、現代の走査型電子顕微鏡（SEM）で現在でも使用されています。[ 14 ]

SEMに様々な種類の検出器を組み合わせることで、検査対象試料の地形、結晶構造、組成をマッピングすることが可能になります。[ 4 ] 1960年代、ウェルズ、エバーハート、マッタはピッツバーグのウェスティングハウス研究所で半導体研究と微細加工のための先進的なSEMを開発しました。彼らは信号を組み合わせることで、能動デバイスの多層構造をより効果的に検査することができました。これはEBICイメージングの初期の例です。[ 15 ] [ 16 ]

カリフォルニア大学バークレー校

1958年から1978年まで、エバーハートはカリフォルニア大学バークレー校で電気工学・コンピュータサイエンス（EECS）の教授、後に学科長を務めた。[ 1 ] そこで彼はアメリカの大学で最初の走査型電子顕微鏡の建設を支援した。[ 17 ]

コーネル大学

1979年1月、ニューヨーク州イサカにあるコーネル大学工学部のジョセフ・シルバート学部長に就任した。 [ 18 ]

イリノイ大学

エバーハートは1984年から1987年までイリノイ大学アーバナシャンペーン校の学長を務めた。学長として、エバーハートは、アーノルド・オービル・ベックマンへの呼びかけによって大幅に資金提供された学際研究機関であるベックマン先端科学技術研究所の提案と発展に関わった。[ 19 ]：9–14 ベックマン研究所の管理委員会の推薦メンバーへの正式な招待状の中で、エバーハートは、ベックマン研究所の設立は「特別な機会であり、おそらく我々の職業人生で目にするであろう最も劇的で刺激的な機会である」と書いている。[ 19 ]：97

カリフォルニア工科大学

エバーハートは1987年から1997年までカリフォルニア工科大学の学長を務めた。[ 20 ]カリフォルニア工科大学の学長として、エバーハートは重力波を検出し、物理学と天文学の基礎研究に利用することを目指す大規模な実験であるレーザー干渉計重力波観測所（LIGO）プロジェクトを承認した。[ 21 ]

カリフォルニア工科大学在学中、エバーハートは大学の大幅な拡張に携わり、3億5000万ドルの資金調達を主導した。1989年には、生物学、化学、および関連科学の研究センターであるカリフォルニア工科大学のベックマン研究所の開設に尽力した。 [ 22 ]この研究所は、アーノルド・オービル・ベックマンと妻メイベルが支援した5つの研究センターのうちの2番目であった。エバーハートはまた、 WMケック財団の支援を受けたハワイのWMケック天文台、[ 23 ]インテルのゴードン・ムーアの支援を受けたゴードン・アンド・ベティ・ムーア工学研究所、[ 24 ]シャーマン・フェアチャイルド財団 の支援を受けたフェアチャイルド工学図書館の開発にも関わった。[ 20 ] [ 25 ]

エヴァーハートは女性教員の採用と女性の入学者数の増加に尽力した。カリフォルニア工科大学での最終学年には、新入生の女性数は彼が入学した年の2倍に増加した。[ 20 ]

1998年以来、エバーハートはカリフォルニア工科大学の理事を務めている。[ 26 ]彼はレイセオンやカブリ財団など の理事会にも所属している。 [ 18 ]

ハーバード大学

1999年、エヴァーハートはハーバード大学の総長に6年間の任期で選出されました。2001年には総長執行委員会のメンバーとなり、2000年から2001年にかけて同大学の学長選考委員会に参加した3人の総長の一人となりました。2004年には、2004年から2005年にかけてハーバード大学の総長委員会の会長に選出されました。[ 27 ]

賞と栄誉

エバーハートは、以下を含む多くの科学団体に選出されている。[ 1 ]

エバーハートは数々の賞を受賞しており、その中には以下のものがある: [ 1 ]

参考文献

  1. ^ a b c d e Brock, David C.; Mody, Cyrus (2011年5月3日). Thomas E. Everhart, David C. BrockとCyrus Modyが2007年3月28日と2011年5月3日に電話インタビューとカリフォルニア州サンタバーバラで行ったインタビューの記録(PDF) . Philadelphia, PA: Chemical Heritage Foundation .
  2. ^ 「フェロー一覧」王立工学アカデミー。
  3. ^ a b c d Rodenburg, JM (1997).電子顕微鏡法と分析 1997：物理学研究所電子顕微鏡法と分析グループ会議議事録、ケンブリッジ大学キャベンディッシュ研究所、1997年9月2日～5日。ブリストル：物理学研究所出版。pp.  11– 16。ISBN 978-0750304412. 2015年6月19日閲覧。
  4. ^ a bラティナック、カイル・R. (2008). 「偉大な瞬間 9: 走査型電子顕微鏡法」 . ラティナック、カイル・R. (編). 『50 great moments : celebrating the golden jubilee of the University of Sydney's Electron Microscope Unit』 . シドニー大学出版局, NSW. pp.  71– 81. ISBN 9781920898762. 2015年6月19日閲覧。
  5. ^ a b Everhart, TE (2004). 「走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成」 . ピーター・W. ホークス編. 『イメージングと電子物理学の進歩：第133巻、サー・チャールズ・オートリーと走査型電子顕微鏡（第1版）』. オックスフォード: エルゼビア・アカデミック・プレス. pp.  137– 145. ISBN 978-0123859853。
  6. ^ a b Holt, DB; Joy, DC (1989). SEMによる半導体の微細特性評価エルゼビア・サイエンス. pp.  xi– xii. ISBN 9780123538550. 2015年6月18日閲覧。
  7. ^ a bホークス、ピーター・W. (2004). 『イメージングと電子物理学の進歩：第133巻、サー・チャールズ・オートリーと走査型電子顕微鏡（第1版）』オックスフォード：エルゼビア・アカデミック・プレス. ISBN 978-0123859853。
  8. ^ブレトン、バーニー・C. 「走査型電子顕微鏡の初期の歴史と発展」ケンブリッジ大学。2015年6月18日閲覧。
  9. ^ Oatley, CW; Everhart, TE (1957). 「走査型電子顕微鏡によるpn接合の観察」. Journal of Electronics . 2 (6): 568– 570. doi : 10.1080/00207215708937060 .
  10. ^ Everhart, TE; Wells, OC; Oatley, CW (1959). 「走査型電子顕微鏡におけるコントラストと解像度に影響を与える要因」. Journal of Electronics Control . 7 (2): 97– 111. doi : 10.1080/00207215908937191 .
  11. ^ニューベリー, デール D.; ジョイ, デイビッド C.; エクリン, パトリック; フィオリ, チャールズ E.; ゴールドスタイン, ジョセフ I. (1986). 『先進走査型電子顕微鏡法とX線分析』 ニューヨーク: プレナム・プレス社 p. 45. ISBN 9780306421402。
  12. ^ Everhart, TE (1960). 「固体からの電子の反射に関する簡単な理論」. Journal of Applied Physics . 31 (8): 1483– 1490. Bibcode : 1960JAP....31.1483E . doi : 10.1063/1.1735868 .
  13. ^ Everhart, TEおよびRFM Thornley (1960). 「マイクロアンペア低エネルギー電子電流用広帯域検出器」(PDF) . Journal of Scientific Instruments . 37 (7): 246– 248. Bibcode : 1960JScI...37..246E . doi : 10.1088/0950-7671/37/7/307 .
  14. ^ Bogner, A.; Jouneau, P.-H.; Thollet, G.; Basset, D.; Gauthier, C. (2007). 「走査型電子顕微鏡開発の歴史：「ウェットSTEM」イメージングに向けて」(PDF) . Micron . 38 (4): 390– 401. doi : 10.1016/j.micron.2006.06.008 . PMID 16990007. 2015年6月18日閲覧. 
  15. ^ Wells, OC; Everhart, TE; Matta, RK (1965). 「走査型電子顕微鏡を用いたデバイス電極の自動位置決め」. IEEE Transactions on Electron Devices . ED-12 (10): 556– 563. Bibcode : 1965ITED...12..556W . doi : 10.1109/t-ed.1965.15607 .
  16. ^ Everhart, TE; Hoff, PH (1971). 「固体材料におけるキロボルト電子エネルギー散逸と浸透距離の測定」. Journal of Applied Physics . 42 (13): 5837– 5846. Bibcode : 1971JAP....42.5837E . doi : 10.1063/1.1660019 .
  17. ^ 「IEEE Founders Medal Recipients」 . Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) . 2010年4月8日時点のオリジナルよりアーカイブ。
  18. ^ a b「Thomas E. Everhart」 .カブリ財団. 2015年6月19日閲覧。
  19. ^ a bブラウン、セオドア・L. (2009). 『分断を橋渡しする：イリノイ・ベックマン研究所の起源』アーバナ：イリノイ大学. ISBN 978-0252034848. 2014年12月11日閲覧。
  20. ^ a b c Woo, Elaine (1996年5月23日). 「Caltech学長が辞任を発表」 . Los Angeles Times . 2015年6月19日閲覧。
  21. ^ 「History & Milestones」 . Caltech . 2015年6月19日閲覧。
  22. ^ 「ベックマン研究所開設記念」(PDF) . Caltech News . 23 (6): 1– 2. 1989 . 2015年6月19日閲覧。
  23. ^コップマン、リンダ；カミサト、ペギー（2007年）「先見の明のある慈善活動：ホームラン」。Cosmic Matters、ケック天文台。 2011年4月13日時点のオリジナルよりアーカイブ。
  24. ^フラニガン、ジェームズ（1996年1月10日）「カリフォルニア工科大学、新研究所で不確実性を乗り越える方程式を確立」ロサンゼルス・タイムズ。 2015年6月19日閲覧。
  25. ^ダグラス・キンバリー「シャーマン・フェアチャイルド図書館：10年後」カリフォルニア工科大学工学応用科学部。 2015年6月19日閲覧。
  26. ^ 「元カリフォルニア工科大学学長トム・エバーハート氏が理事に選出」 Caltech News and Events 1998年. 2015年6月19日閲覧。
  27. ^ 「エバーハート氏が2004-05年度オーバーシーズ会長に就任」ハーバード・ガゼット2004年6月10日. 2015年6月19日閲覧。
  28. ^ 「MSA歴代会長」アメリカ顕微鏡学会. 2025年4月15日閲覧。
トーマス・ユージン・エバーハートに関する図書館資料
トーマス・ユージン・エバーハート著
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